沈天慧（1923-    ），著名化学家，嘉善人，1949年毕业于上海大同大学化工系，1957年至1959年留学前苏联，进修半导体材料，曾任上海交通大学信息存储研究中心研究员、上海交通大学学术委员会委员、上海交通大学材料与化工研究院顾问、微纳米科学技术研究院研究员、微纳米加工技术重点实验室学术委员会主任，现从事微机电系统研究，1980年当选中国科学院学部委员（院士）。